会员风采丨原子层沉积设备的“领军者”——江苏微导纳米科技股份有限公司

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集成电路产业的发展，已成为新一轮全球科技竞争的核心之一。而提到集成电路制造设备，人们总会联想到著名的光刻机；在集成电路领域中，薄膜沉积设备与光刻设备、刻蚀设备、封测设备，并称为集成电路生产工艺中的核心设备。所谓薄膜沉积，指的是在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。

ALD技术作为一种特殊的真空薄膜沉积方法，可将物质以单原子层形式逐层在基底表面形成薄膜，以超乎常人想象的精度，于21世纪初开始被半导体行业采用。而原子层沉积设备及工艺技术也是涉及化学、物理学、多门工程学等诸多学科的跨界综合运用，对制造企业的技术、资金和团队组织均有较高的要求。

此外，因ALD技术具备优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等独特优势，它的运用远不限于半导体，在光伏、柔性电子、新型显示、新能源等诸多尖端科技领域均有良好的产业化前景。业内人士认为，正是近年来我国在光伏、新型显示（LCD、OLED），以及智能手机、物联网、5G通信等集成电路大量应用领域的迅猛发展，对原子层沉积设备市场起到了强大的反推作用，更呼唤着本土厂商的崛起。

微导纳米的副董事长兼首席技术官黎微明博士是最早从事ALD研究的华人之一，拥有近30年的ALD技术研发和产业化经验，长期在国际ALD会议技术委员会担任职务，在该领域享有很高声誉。“第一个光伏ALD设备，其实是客户主动找过来的。有家企业想尝试采用一些新的技术，应用在最先进的电池片里面，提升电池效率。”黎微明介绍，了解了客户的需求后，微导纳米公司用半年时间就开发出了第一代样机，率先将ALD技术规模化应用于光伏领域。目前微导纳米与国内前十电池片厂商均建立了长期合作关系，产品还逆向出口欧洲市场，已成为全球高效电池生产的核心设备生产商之一，在其同类产品中市场占有率稳居全球第一梯队。

在成功将 ALD 技术应用于光伏领域后，微导纳米又将目光瞄准对技术水平和工艺要求更高的集成电路薄膜沉积设备领域。在即将举行的第十届中国半导体设备年会会前访谈中，总经理周仁透露：21年9月，公司首套用于300mm（12英寸）晶圆的High-k栅氧层薄膜沉积的ALD设备在客户28nm生产线上获得验证，其设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平，并已取得客户重复订单，实现了国产半导体ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺量产线上的突破。目前，微导纳米已与多家国内集成电路厂商及验证平台签署保密协议，并开展产品技术验证等合作，针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发不同类型的 ALD 设备。

据最新财报，2021年微导纳米实现销售收入约4.28亿元。截至2022年6月末，公司在手订单已超16亿元，连续两年ALD产品收入规模在国内同类企业中排名第一。

短短7年间，微导纳米从名不见经传，到国内极少数能在短期内快速反馈并协助客户解决产线问题的ALD设备领军企业。快速发展的背后，是有着强大研发制造团队的支撑。据了解，截至21年底，微导纳米研发人员占员工总人数的近40%，其核心团队获评2020年江苏省双创团队，公司还被认定为江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省企业技术中心等。同时，其与复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳大利亚新南威尔士大学等知名院校均建立了良好的合作关系，共同推进ALD技术的创新发展。

总经理周仁表示，我国集成电路制造设备大量依赖进口，国产渗透率较低，甚至国产设备争取入厂验证、与进口设备“同台竞技”的机会都很困难。在现阶段贸易摩擦、“缺芯”危机的风险不断增大的形势下，其实是给国产设备的研发带来更大的机遇。目前国内集成电路产业发展蓬勃，有巨大市场需求，也有资本大量涌入。但业内外也必须清醒地认识到，这是一个知识、经验积累密集型的行业，微导纳米作为民族企业必须一步一个脚印，踏踏实实地做好工作。

就我国半导体产业链、供应链的健康有序发展，周仁建议：一要强链补链，设备是我国整个集成电路产业链中的短板，建议加大政策支持的力度、速度和精准度，适当眷顾一些后起之秀；二是集中资源，打造先进集成电路制造技术产业联盟，由上下游龙头企业深度参与，构建创新协同供应链，联合开发降低装备成本；三是强化基础，做好自主研发、知识产权保护、提升国产化率和加强人才梯队的培养；四是为了赶超国际先进水平，要提倡开放有序的竞争机制。